截至13:38，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)強勢上漲2.22%，成分股天岳先進漲停，和林微納上漲4.30%，耐科裝備上漲3.94%，華興源創(chuàng)，中巨芯等個股跟漲?？苿?chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）上漲2.30%，最新價報1.16元。

消息面上，近期，杭州慕德微納的碳化硅光波導(dǎo)技術(shù)又實現(xiàn)了新的突破：他們在《eLight》期刊上發(fā)布論文，公開了第二代碳化硅光波導(dǎo)的最新技術(shù)。

公開信息顯示，科創(chuàng)半導(dǎo)體 ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板 半導(dǎo)體 材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導(dǎo)體 設(shè)備（59%）和 半導(dǎo)體 材料（25%）細(xì)分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體 設(shè)備和材料行業(yè)是重要的 國產(chǎn)替代 領(lǐng)域，具備 國產(chǎn)化率 較低、 國產(chǎn)替代 天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的 半導(dǎo)體 需求擴張、科技重組并購浪潮、 光刻機 技術(shù)進展。